在我国，单身女性进行试管婴儿技术存在一定的法律和伦理争议。以下是关于单身女性做试管婴儿是否违法、费用承担方式以及相关流程的详细介绍。

一、单身女性做试管婴儿是否违法？

根据我国相关法律法规，单身女性进行试管婴儿技术并不违法。但是，由于涉及伦理问题，部分医疗机构对此持谨慎态度。以下是对相关法律法规的解读：

1. 《人类辅助生殖技术管理办法》规定，人类辅助生殖技术应用于治疗不孕症，不得用于非医学目的。

2. 《医疗机构人类辅助生殖技术应用管理办法》规定，医疗机构开展人类辅助生殖技术，应当符合国家有关法律法规和伦理要求。

3. 《人类辅助生殖技术伦理指导原则》规定，医疗机构应当尊重患者意愿，不得违反伦理原则。

综上所述，单身女性进行试管婴儿技术本身并不违法，但需遵守相关法律法规和伦理要求。

二、费用承担方式

1. 自费：单身女性进行试管婴儿技术，费用一般由个人承担。具体费用包括：

（1）检查费用：包括激素水平检测、染色体检查、生殖道检查等。

（2）手术费用：包括抽卵、胚胎移植等手术费用。

（3）药物费用：包括促排卵药物、黄体支持药物等。

2. 医疗保险：部分医疗保险可以覆盖试管婴儿技术的部分费用，具体以保险公司规定为准。

3. 公益项目：部分医疗机构或慈善机构会设立试管婴儿公益项目，为符合条件的单身女性提供免费或优惠的试管婴儿技术。

三、单身女性做试管婴儿流程

1. 咨询与评估：单身女性首先需到具备资质的医疗机构进行咨询，了解试管婴儿技术的基本情况，评估自身是否符合手术条件。

2. 签署知情同意书：在充分了解试管婴儿技术及相关风险后，单身女性需签署知情同意书。

3. 检查与准备：根据医生建议，进行相关检查，如激素水平检测、染色体检查等。同时，进行身体和心理准备。

4. 抽卵与胚胎培养：在促排卵药物的作用下，医生通过手术取出卵子，与精子结合形成胚胎，并进行培养。

5. 胚胎移植：将培养好的胚胎移植到女性子宫内，等待胚胎着床。

6. 黄体支持：在胚胎移植后，医生会根据情况给予黄体支持药物，以维持胚胎着床。

7. 随访与监测：在术后一段时间内，医生会进行随访和监测，以确保手术效果。

总之，单身女性进行试管婴儿技术在我国并不违法，但需遵守相关法律法规和伦理要求。在费用承担方面，可通过自费、医疗保险或公益项目等方式解决。具体流程需根据医疗机构和医生的建议进行。